隨著
傳感器及微加工技術的發(fā)展，人們可以在同一襯底材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結構形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片上，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現(xiàn)補償和校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向；幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數(shù)，各敏感元器件是獨立的，如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起．構成溫濕度多功能
傳感器；用同一個敏感元器件的不同效應，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導率或介電常數(shù)物質的作用下，表現(xiàn)出不同的電容和電感。
同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性，例如
傳感器施加不同的激勵電壓、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相竄于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。
就近些年看來，多功能集成化
傳感器研究受到國內(nèi)外的廣泛關注，國內(nèi)外文獻報道，已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測、化學分析、生物保護等方面的集成傳感器。隨著MEMS技術和比技術的不斷發(fā)展，實現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。
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CAPTRON 100189
CAA-550-H18G4T-PS6/CP174
CAPTRON 100225 CAA-180-H18G4T-PO6/CP174
CAPTRON 100252 ISM-2000/24VDC
CAPTRON 100271 OGR-10T-PU6
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CAPTRON 100277 OGR-20T-PU6
CAPTRON 100293 i20B-F56M-PS6
CAPTRON 100313 CHT1-559PRS-30
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CAPTRON 100315 CHT12-T58P-205
CAPTRON 100318 CHT1-1K9B-30
CAPTRON 100319 CHT1-158D-19
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CAPTRON 100325 CHT1-158B-30
CAPTRON 100329 CHT1-17XB-H
CAPTRON 100330 CHT1-17XB-10
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CAPTRON 100344 CHT1-559P-H
CAPTRON 100346 CHT1-198BRSO-30
CAPTRON 100349 CHT1-178P-H
CAPTRON 100350 CHT1-579P-H
CAPTRON 100364 CHT1-158B-371
CAPTRON 100368 CHT1-158B-368
CAPTRON 100401 CHT3-07XP-H/TG-SR/ST
CAPTRON 100418 CHT3-A71U-38/TG-SR/CP29
CAPTRON 100421 CHT32-170B-40/TG-SR
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CAPTRON 100426 CHT3-185B-41/TG-YW
CAPTRON 100427 CHT3-456PV-H/TG-SR/ST
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CAPTRON 100537 CTL1-158-30/RYG
CAPTRON 100582 CAA-60-H18G4T-PS6/CP174
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